중국 제조업체의 고 에너지 화학 레이저 가스의 질소 트리 플루오 라이드, 화학 세정제, 불소를 제공합니다.

Li- (CFX) n 전기 화학 배터리
3V 리튬 망간 배터리
3V 리튬 서브 배터리
폴리머 리튬 론 배터리 팩
에너지 저장 배터리
- 실외 운동 에너지 저장 배터리
1.5V 알칼리 배터리
안정적인 동위 원소
- B-11 안정 동위 원소
불소 함유 제약 중간체 재료
- 퍼플 루오로 옥탄 생물 의학 물질
반도체 공정 재료
특수 기능 탄소 불화물
새로운 에너지 배터리 재료

중국 질소 트리 플루오 라이드 반도체 공정 재료 공급 업체

미세 전자 산업의 질소 트리 플루오 라이드는 혈장 에칭 과정에서 활성 불소 이온으로 갈라진 일종의 우수한 혈장 에칭 가스입니다. 실리콘 및 실리콘 질화물의 혈장 에칭의 경우, 질소 트리 플루오 라이드를 사용하는 경우, 특히 1.5 μm 미만의 두께와 통합 회로 재료를 에칭하는 과정에서 탄소 테트라 플루오 라이드 또는 탄소 테트라 플루오 라이드 및 산소 혼합 가스를 사용하는 것보다 에칭 속도와 선택성이 높다. 질소 트리 플루오 라이드는 우수한 에칭 속도와 선택성을 가지고 있습니다. 또한 에칭 된 재료의 표면에는 오염이 없으며 훌륭한 세척제이기도합니다.