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Perfluorobutadiene 반도체 공정 재료

전자 회로의 에칭 재료 perfluorobutadiene

단가: USD 9999 / Ton

Min.Order 단가
100 Ton USD 9999 / Ton

제품 소개 Perfluorobutadiene (C4F6)은 일종의 무색, 무취 및 물 불용성 가스입니다. 녹는 점은 132.0 ℃이고 끓는점은 5.9 ℃이다. Perfluorobutadiene은 6 개의 불소 원자와 2 개의 탄소-탄소 이중 결합을 함유하는 일종의 공액 올레핀으로, 고유 한 F/C 비율로 인해 Perfluorobutadiene은 Etching 선택성, 정확성 및 종횡비보다 더 높은 Etching 선택성, 정확성 및 종횡비를...

중국 Perfluorobutadiene 반도체 공정 재료 공급 업체

Perfluorobutadiene은 6 개의 불소 원자와 2 개의 탄소-탄소 이중 결합을 함유하는 일종의 공액 올레핀으로, 고유 한 F/C 비율로 인해 Perfluorobutadiene은 Etching 선택성, 정확성 및 종횡비보다 더 높은 Etching 선택성, 정확성 및 종횡비를 가지고 있습니다. 전통적인 퍼플 루어 화 된 포화 형광탄 에칭 가스, 퍼플 루오로 부타디엔은 100 nm 미만의 전자 회로를 에칭 할 수 있습니다. 또한, C4F6은 C4F8의 광자와 실리콘 질화물의 선택적 비율이 더 높으며, 이는 에칭 안정성, 에칭 속도 및 균일 성을 향상시켜 생성물 품질을 향상시킬 수있다.

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